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产品简介
KYKY-EM6900扫描电镜
产品特点:
◆分辨率高,成像质量更好
◆翻开式发叉结构钨丝阴极,更换灯丝方便
◆纯中文操作界面,具有一键成像功能
◆自动调整功能:电子枪加热、偏压、对中、聚焦、亮度、对比度、消像散、像散记忆等
◆自动校正、自动故障检测
◆低维护、维修成本
性能指标:
1. 分辨率: 3nm@30KV (SE); 6nm@30KV (BSE)
2. 放大倍率: 8~300000 倍
3. 电子枪: 翻开式预对中钨丝阴极
4. 加速电压: 0~30kV连续可调,0-10kV步进量为100V,10kV以上步进量为1kV
5. 具有一键看像功能
6. 透镜系统: 三级高性能锥形透镜系统
7. 物镜光阑:三个可在真空外调节,无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑
8. 真空系统: 1个涡轮分子泵,1个机械泵; 样品室真空优于2.6E-3 Pa ,全自动真空控制,具有真空互锁功能。
9. 探测器标准配置:
(1) 高真空二次电子探测器;
(2) 四分割半导体BSE探测器;
(3) 红外CCD摄像头
10. 样品室提供不少于2个可扩展接口,可接 WDS、EDS、BSE 等多种附件和探测器
11. 样品台配置
五轴样品台,四轴自动:
行程: X=70mm,Y=50mm,Z=45mm,R=360°,T=-5°~+90°(手动)
**样品直径: Ф175mm;**样品高度:35mm;样品台有碰撞报警功能。
12. 图像处理器
Ø **4096×4096像素显示
Ø 图像文件格式:默认格式为BMP,可另存为GIF、JPG、PNG、TIF等格式
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